產品:氣體質量流量計 型號:GFM 廠牌:AALBORG 特點 1.使用熱質式技術不受溫度及壓力變換影響 2.可使用於多種非腐蝕性氣體,Air/CO/CO2/He/H2/O2/C2H4/CH4 3.具流量回授控制功能 4.流量範圍:空氣 0~10 SCCM to 0~1000 SLPM 5.3 1/2LCD顯示 型錄下載